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          有源型靜電軸承

          2014-09-20 19:34 作者:管理員17 來源:未知 瀏覽: 字號:

          摘要:2.2有源型靜電軸承 有源型靜電軸承有較高的軸承剛度和響應速度, 可以使用直流電源。這種軸承的幾何結構與無源型靜 電軸承完全相同.只是它帶有伺服控制電路。圖 13.11-22是有源型6極球形靜電軸承的示意圖和一對 電極的伺服控制電路方框圖。 有源型靜電軸承常

          2.2有源型靜電軸承
              有源型靜電軸承有較高的軸承剛度和響應速度,
          可以使用直流電源。這種軸承的幾何結構與無源型靜
          電軸承完全相同.只是它帶有伺服控制電路。圖
          13.11-22是有源型6極球形靜電軸承的示意圖和一對
          電極的伺服控制電路方框圖。
              有源型靜電軸承常用的位置傳感器有光電傳感
          器、高頻電橋等。伺服控制系統通常包括輸出電路、
          位置敏感電路、補償網絡、放大器、振蕩器、調制器
          和解調器等。
          六面電極球形靜電軸承

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